微鏡陣列 Micro Mirro Array
產(chǎn)品簡介
此系列產(chǎn)品為微鏡陣列,即采用微光機(jī)電光束偏轉(zhuǎn)鏡組成的鏡面整列。適用波長可從深紫外至近紅外(DUV to NIR, 193nm~1500nm)。鏡面可由256×256個微鏡面組成,每個鏡面為16um*16um。掃描頻率可達(dá)1KHz??捎米鰣D形的產(chǎn)生,可編程掩膜板等。
產(chǎn)品詳細(xì)信息
此系列產(chǎn)品為微鏡陣列,即采用微光機(jī)電光束偏轉(zhuǎn)鏡組成的鏡面整列。適用波長可從深紫外至近紅外(DUV to NIR, 193nm~1500nm)。鏡面可由256×256個微鏡面組成,每個鏡面為16um*16um。掃描頻率可達(dá)1KHz??捎米鰣D形的產(chǎn)生,可編程掩膜板等。
Example of micro mirror array for extended spectral range
?256 x 256 micro mirrors
? 16 μm x 16 μm mirror pitch
? Frame rate 1 kHz
? Analogue mirror tilting
? Illumination wavelengths : 193 … 1500 nm
Applications
?Pattern projection (real time grey levels)
? Programmable masks
? Structured / programmable illumination
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