熱処理裝置製造?販売　株式會社ダン?タクマ　FOSB·FOUP干燥烘箱　重慶 FOSB·FOUP干燥烘箱

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產(chǎn)品價格： < 面議

產(chǎn)品型號：FOSB·FOUP干燥烘箱

品牌：株式會社ダン?タクマ

公司名稱：重慶內(nèi)藤機械設備有限公司

所在地：重慶北碚

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產(chǎn)品簡介

熱処理裝置製造?販売　株式會社ダン?タクマ　FOSB·FOUP干燥烘箱　重慶
熱処理裝置製造?販売　株式會社ダン?タクマ　FOSB·FOUP干燥烘箱　重慶
TEL:18375760285
QQ:2853007784
白先生

產(chǎn)品詳細信息

300mm晶圓容器設備的使用FOSB和FOUP等特別的細微化，近年來隨著微粒污染不僅分子污染排除的要求也變大了。
丹?タクマ它們的要求，為了響應，傳統(tǒng)的清潔烤爐，本公司的分子污染防治技術，加上微粒污染物化學污染不僅物也排除了超清潔空間可以在干燥的下一代的保潔烤爐開發(fā)了。

本產(chǎn)品是以前的0.1μ10級對應的高清潔度溫風循環(huán)式清潔烤爐，丹?タクマ化學過濾器”PURATEX”載有外部的化學的污染物的進入，并且能夠防止內(nèi)部部件的排氣極力減低，使其干燥的時候被　干燥物中去分子污染盡量降低了清潔烤爐。特別是晶圓厭惡硼和磷，有機物等對策被。

仕様
型	FD-160-8
収納數(shù)	FOUP または FOSB 8個
清浄度	0.1μ　クラス10
*高溫度	80°C
溫度分布	±3％溫度プログラム制御付濕度表示（オプション）
ケミカルフィルター	3種類（酸性ガス除去用＋アルカリ性ガス除去用＋有機性ガス除去用）
ULPAフィルター	低有機＋低ボロンタイプ