兼容微量元素濃度和成分分析

兼容從輕元素到重元素的多種元素：  4 Be 到92 U

高靈敏度硼檢測儀AD-Boron 

我們不斷開發(fā)新的光學(xué)系統(tǒng)，例如改進(jìn)硼分析功能，以提高分析精度和穩(wěn)定性。此外，恒溫機(jī)構(gòu)和真空度穩(wěn)定機(jī)構(gòu)是用于穩(wěn)定的標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備。

XY-θ驅(qū)動臺

XY-θ 驅(qū)動的樣品臺和測量方向設(shè)置程序可實現(xiàn)整個晶圓表面上的**薄膜厚度和成分分布測量。鐵電薄膜也不受衍射線的影響。

應(yīng)用

半導(dǎo)體器件 BPSG、SiO 2、Si 3 N4、摻雜多晶硅（B、P、N、As）、Wsix、Al-Cu、TiW、TiN、TaN、PZT、BST、SBT、MRAM ……
金屬膜 W、 Mo、Ti、Co、Ni、Al、Cu、Ir、Pt、Ru、...
磁盤 CoCrTa、CoCrPt、...DLC、...NiP、...
磁光盤 Tb-FeCo、?
磁性磁頭 GMR、TMR、??

豐富的固定測角儀陣容

我們根據(jù)膜厚度和膜結(jié)構(gòu)提供*佳的固定測角儀。我們還有一個專用的光學(xué)系統(tǒng)，可以分析硅晶圓上的 Wsix 薄膜。

全自動設(shè)備日常管理功能AutoCal

為了獲得準(zhǔn)確的分析值，必須正確校準(zhǔn)儀器。為此，必須定期測量檢查晶圓和PHA調(diào)整晶圓作為管理晶圓，以保持設(shè)備處于良好狀態(tài)。這種日常校準(zhǔn)工作是完全自動化的，減少了操作員的工作量。這就是“AutoCal 功能”。

兼容C to C自動傳輸

除了開放式盒式磁帶外，它還兼容 SMIF POD。兼容200mm以下的晶圓。另外，可與上位機(jī)進(jìn)行SECS通信，并兼容各種CIM/FA。

緊湊節(jié)能設(shè)計主機(jī)設(shè)計緊湊，占地面積小于1平方米。采用無油變壓器，輔助設(shè)備緊湊，節(jié)能設(shè)計。